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最小流量：0.1SCCM
最大流量：500SLPM
S100-PL/PLG低(極低)壓損氣體層流質(zhì)量流量計系列產(chǎn)品滿量程壓損最低可至400Pa,低壓損可最大程度減少氣路系統(tǒng)造成的波動影響，可在接近大氣壓的壓力下或在可用系統(tǒng)壓力很小的情況下進(jìn)行流量測量，保證流量測量更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定。

20W系列低壓降質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 20W系列具有超低壓損，滿量程壓損最低可達(dá)480Pa。可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場合。

21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 21W系列具有超低壓損，滿量程壓損最低可達(dá)480 Pa。21W系列可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場合。