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APPLICATIONS
行業應用
半導體與LED
切割（激光）前在晶片上沉積保護層
金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）
原子層沉積（ALD）
超臨界流體定量給料和控制（如超臨界二氧化碳清洗）
平板顯示器（FPD）噴涂
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平板顯示器（FPD）噴涂
